Opis

Pošaljite upit

EDI postrojenje za pročišćavanje vode za polu{0}}vodiče obično je dio sustava Ultra Pure Water (UPW). U ovom kontekstu, EDI je "korak poliranja uklanjanja-iona" nakon RO koji vam pomaže da postignete izuzetno nisku vodljivost-zatim dodatno UPW poliranje uklanja TOC, silicijev dioksid/bor, otopljene plinove, bakterije i čestice kako bi se zadovoljili fab zahtjevi.

Zašto je EDI standard za poluvodiče

Tradicionalni slojevi -smole za ionsku izmjenu uvelike se zamjenjuju EDI-jem u postrojenjima poluvodiča zbog nekoliko ključnih tehničkih prednosti:

Nulto curenje iona: Za razliku od standardnih slojeva smole koji mogu "propuštati" ione kad se potroše, EDI pruža stalan tok visoke -čistoće jer se smola kontinuirano regenerira električnim poljem.
Okruženje-bez kemikalija: Poluvodiči zahtijevaju nevjerojatno stabilno okruženje. EDI koristi električnu energiju umjesto opasnih kiselina i kaustika, eliminirajući rizik od kemijskih para ili slučajnog izlijevanja koje bi moglo zagaditi zrak u "Čistoj sobi".
Nizak TOC i uklanjanje silicijevog dioksida: EDI je vrlo učinkovit u uklanjanju slabo ioniziranih vrsta kao što su silicij ($SiO_2$) i bor, za koje je poznato da ih je teško ukloniti, ali su razorni za prinose poluvodiča.
Modularna skalabilnost: poluvodičke "fabrike" su masivne. EDI sustavi su modularni, omogućujući inženjerima povećanje ili smanjenje proizvodnje vode u skladu s brojem litografskih ili alata za graviranje koji rade.

Tipično EDI postrojenje za pročišćavanje vode za polu{0}}provodnike

U postrojenju poluvodiča, EDI postrojenje je "srce" petlje za poliranje, smješteno između stupnja reverzne osmoze (RO) i krajnje točke--upotrebe filtara:

Primarni tretman (dvostruki-prolazni RO): uklanja 99% skupnih kontaminanata. Visoko{3}}kvalitetni permeat iz drugog RO prolaza služi kao napojna voda za EDI.
Otplinjavanje: uklanja otopljeni $O_2$ i $CO_2$. To je kritično jer otopljeni plinovi mogu uzrokovati mjehuriće na površini ploče i ometati učinkovitost EDI-ja.
EDI modul: voda se polira na 15–18 M$\\Omega$·cm. Električno polje osigurava da smola za ionsku{3}}izmjenu ostane u trajnom "nabijenom" stanju.
UV i ultrafiltracija (UF): Završno "poliranje" na UV valnim duljinama od 18,5 nm ili 254 nm za uništavanje svih organskih tvari u tragovima (TOC) i UF membrane za hvatanje preostalih sub{2}}mikronskih čestica.

Ključne točke dizajna koje su najvažnije

Punjenje za EDI mora biti vrlo čisto: niska tvrdoća, nizak rizik od silicijevog dioksida, nizak oksidans (klor), nizak SDI.
Otplinjavanje (uklanjanje CO₂) često poboljšava otpornost i smanjuje EDI opterećenje.
Materijali i higijena: UPW petlje obično koriste materijale visoke{0}}čistoće (npr. PVDF/PFA/EP-klasa SS ovisno o specifikaciji) i stalnu recirkulaciju kako bi se spriječila kontaminacija.
Praćenje: otpornost, TOC, silicij, DO, broj čestica, protok/tlak, temperatura-plus alarmi/trendovi.

Ako mi kažete ove 4 stavke, mogu predložiti odgovarajuće EDI postrojenje za pročišćavanje vode za polu-provodnike:

Potreban UPW protok (m³/h ili m³/dan)
Izvor sirove vode + TDS/silika (ako je poznat)
Upotreba: fab UPW (proces) naspram pomoćnih programa (čistač/hlađenje)
Sve ciljne specifikacije koje morate ispuniti (otpor/TOC/silicijev dioksid/čestice)